Abstrait

Révélation de la haute fidélité du processus de nanomoulage en extrayant les informations de l'image AFM avec des artefacts systématiques

Sajal Biring

Une étude par microscopie à force atomique en mode contact (c-AFM) a été réalisée pour réaliser la haute fidélité d'un procédé de nanomoulage où des nanostructures fabriquées sur un master en silicium sont répliquées sur une surface en aluminium. Les images AFM des nanostructures montrent des artefacts systématiques dus à la taille finie de la pointe AFM et posent ainsi une limite à l'estimation de la fidélité du procédé de nanomoulage. L'analyse quantitative présentée dans cette lettre permet d'extraire les paramètres nécessaires pour révéler la haute fidélité du procédé de nanomoulage alors que la largeur et la profondeur réelles des nanostructures sont encore inconnues. Ce travail fournit une direction aux recherches dans le domaine de la microscopie à force atomique des nanostructures pour analyser les données avec précision en présence d'artefacts systématiques.