Abdelkader Nouiri
Le microscope électronique à balayage (MEB) est un moyen pratique de fournir des informations structurelles à l'échelle micro et nano. Cependant, l'augmentation de température due au bombardement d'électrons pendant l'analyse MEB est une préoccupation car elle peut modifier les résultats du MEB, en particulier au niveau des nanostructures. Pour une compréhension quantitative de l'augmentation de température pendant l'analyse MEB, un modèle hybride, la dynamique moléculaire combinée à la méthode de Monte Carlo, est développé. L'influence de certains paramètres, comme la tension d'accélération, le courant primaire et la durée de balayage sont étudiés. Le profil de température résultant dans les matériaux semi-conducteurs et les grains d'apatite hypothétiques indique une augmentation maximale de la température près de la surface, suivie d'une réduction continue de la température en fonction de la profondeur à partir de la surface.